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SF6大容量羅茲泵真空泵裝置

SF6大容量羅茲泵真空泵裝置

更新時間: 2023-11-14
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為了保護真空泵,真空泵前的電磁閥在過壓的情況下不能打開。真空泵和羅茲泵從開始就一起啟動??諝饬鹘浟_茲泵的旁通管。羅茲泵在壓力低于30mbar時達到其Z大的抽氣功率1000m3/h, 能夠防止真空泵裝置通常發生的在低壓下抽真空能力的下降,實現氣室的良好干燥和快速除氣的目的。

SF6大容量羅茲泵真空泵裝置的詳細資料:

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